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極紫外平面反射鏡

簡要描述:極紫外平面反射鏡
最大可實現 13.5nm 反射
專為極紫外線光束轉向和諧波分離而設計
5°和45°自動光學檢驗的可用版本

基礎信息

產品型號

廠商性質

經銷商

更新時間

2025-07-06

瀏覽次數

720
詳細介紹
品牌Edmund Optics

極紫外平面反射鏡通用規格:

直徑 (mm):
25.40 ±0.25
表面平整度 (P-V):
λ/10 @ 632.8nm
基底:
Single Crystal Silicon
涂層:
Mo/Si Multilayer
Top Layer: Silicon
鍍膜類型:
Metal/Semiconductor
表面粗糙度(埃):
<3 RMS
厚度 (mm):
6.35 ±0.508
厚度容差 (mm):
0.508
產品編碼Dia. (mm)表面平整度 (P-V)基底
38-75925.40 ±0.25λ/10 @ 632.8nm Single Crystal Silicon 
38-76025.40 ±0.25λ/10 @ 632.8nm Single Crystal Silicon 

極紫外平面反射鏡是多層反射鏡,在其設計波長和入射角下實現最大反射率。這些反射鏡的特點是反射涂層沉積在一個超拋光的單晶硅基板上,表面粗糙度小于3? RMS. 45°自動光學檢驗反射鏡可用于轉向s偏振光束,而 5° 自動光學檢驗反射鏡可用于非偏振光束. 極紫外線反射鏡的應用包括相干衍射成像 (CDI) 和材料科學研究。紫外平面反射鏡也可用作高次諧波 (HHG) 光束的諧波選擇器.

注意: 附帶每個反射鏡運行樣本的測試數據.


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